装置名
3D外観検査装置 MV-30MNI
メーカー
日本ミルテック
最大基板サイズ
450×400mm
許容される基板反り
±2mm
基板厚み
0.5～3.0mm
基板上端の必要スペース
3.0mm
基板下端の必要スペース
3.0mm
基板上面の高さクリアランス
45mm
基板下面の高さクリアランス
50mm
基板移送重さ
3kg
特徴
・カラー照明照射による色変化の違いから3D高さ測定も可能。
・複数の照明条件で検査する事で、1文字単位でOCR検査を自動実施可能。
・2D/3Dの同時検査が可能（3D検査により不良検出力がアップ）
・4方向の18Mega Pixel斜視カメラによる検査でTOPカメラで検出困難な個所も検出可能
・照明カメラユニットのZ軸動作により高い部品にもピントを合わせて検査可能
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